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干式真空泵的应用范围

文章出处:艾发科技作者:Admin人气:152发表时间:2018-10-31

干式真空泵的应用非常广泛,主要有以下几个方面,下面小编带你了解一下干式真空泵的应用范围和场景:
1)多晶硅制备过程中的低压化学气相沉积;
2)半导体蚀刻工艺。 在这些制造过程中经常使用或产生腐蚀性气体和磨粒;
3)除半导体工艺外,部分工艺过程产生的颗粒,不希望颗粒与泵油混合,希望颗粒从泵内排出,用一定类型的干式机械真空泵达到要求;
4)在化学工业,医药工业,食品工业的蒸馏,干燥,消泡,包装,防止有机溶剂引起的污染,适合与干式真空泵配套使用;
5)用作普通无油清洗真空系统的前级泵,防止油污染。

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