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干式真空泵的分类

文章出处:艾发科技作者:Admin人气:182发表时间:2018-10-31

干式真空泵
在过去的分类、油真空泵被广泛应用于各种半导体工艺和真空泵和活塞式真空泵是重要的代表。而且它们在各种应用中的体现不能让人感到骄傲。因此,干式真空泵应运而生。在过去的年中,有几个不同的例子,干式真空泵的计划和生产,他们有显着的差异,在机器布局计划。由于这种区别,我们可以将干式真空泵归纳为以下几种:圆形叶型、爪型、组合型(根爪)、螺杆式。如今,这些例子被不同厂家广泛使用。圆形,爪和组合(根爪)被称为多级泵。由于它们的方法基本相似,真空被多级真空室反复压缩产生真空。在重复压缩的过程中,气体的温度和压力也会发生很大的变化,从而更容易改变气体的物理性质。螺杆式泵称为单级泵,因为它只能由真空腔产生真空。根据气体压缩法的不同,可分为内压式螺杆泵和外压式螺杆泵。这里有一些这些差分泵的物理实例,期待为他们提供资金。
双峰方案是罗茨泵是目前最流行和广泛使用的非常相似。事实上,最早的干泵计划是将罗茨泵泵到一起。这种多级方案使气体路径非常大,每一级都需要较大的氮气流量来稀释和切断。同时,为了获得良好的真空,对所有级别的通关要求非常严格。当然,这种程序使得功耗相对较低,由于内部压缩比的增加。
一三叶圆形方案的原理是完全一样的,两叶分割方案。它只把气体分为三个部分,而不是一个圆形的圆瓣,它是两个拷贝。三瓣环规划和双圆分裂方案具有相似的优点和缺点。为了进一步降低功耗,一些厂家在传输部门选择两台直流电动机,但这也会导致转矩下降和重新启动的能力下降。以同样的方式为双圆裂计,每三裂片圆叶方案需要较大流量的氮气稀释效果。